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山東博華電子(zi)科技發展有限公司成立于(yu)2017年，位于(yu)淄(zi)博高新區(qu)(qu)(qu)MEMS產(chan)(chan)(chan)業創新園內(nei)，是由淄(zi)博高新區(qu)(qu)(qu)管委會、MEMS研(yan)究院共同成立的全資(zi)子(zi)公司，公司總投資(zi)約1.6億元，其中(zhong)已(yi)投入(ru)工藝設(she)備約1億元，廠房基礎建設(she)、土地約6000萬(wan)元。廠房面(mian)(mian)積(ji)5000m2，分環境動(dong)力區(qu)(qu)(qu)、辦公區(qu)(qu)(qu)、潔凈(jing)區(qu)(qu)(qu)。潔凈(jing)面(mian)(mian)積(ji)1540m2，百(bai)級區(qu)(qu)(qu)340m2、千(qian)級區(qu)(qu)(qu)400m2，萬(wan)級區(qu)(qu)(qu)800m2，超(chao)凈(jing)規模國內(nei)一流(liu)，省(sheng)內(nei)。擁(yong)有德國SUSS公司光刻機(ji)、奧德利EVG公司鍵合機(ji)、英國SPTS公司深硅刻蝕機(ji)等國際一流(liu)6英寸半(ban)自(zi)動(dong)MEMS及微納(na)米代(dai)工線設(she)備，生(sheng)產(chan)(chan)(chan)能力達到月產(chan)(chan)(chan)傳感器十萬(wan)只以上，產(chan)(chan)(chan)品的測試環境也居國內(nei)水平。

淄(zi)博高新技(ji)(ji)術(shu)產業開發(fa)區MEMS研究(jiu)院是由淄(zi)博高新區管委(wei)會與清(qing)華大學機械工(gong)程學院合作(zuo)共(gong)建。公(gong)司于2017年12月成立，以(yi)“精(jing)密測(ce)試技(ji)(ji)術(shu)及儀器(qi)國家(jia)重點(dian)實(shi)驗(yan)(yan)室MEMS分實(shi)驗(yan)(yan)室”、 “清(qing)華大學微(wei)米(mi)納(na)米(mi)技(ji)(ji)術(shu)研究(jiu)中心MEMS分中心”和(he)(he)“智(zhi)能微(wei)系統(tong)教(jiao)育(yu)部重點(dian)實(shi)驗(yan)(yan)室MEMS分實(shi)驗(yan)(yan)室”為技(ji)(ji)術(shu)依托，集中了國內(nei)專業從事MEMS工(gong)藝和(he)(he)傳(chuan)感(gan)器(qi)設(she)計的(de)(de)專家(jia)人才，專門(men)從事微(wei)型傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)(de)研發(fa)和(he)(he)生(sheng)產，是山(shan)東省一家(jia)采用MEMS技(ji)(ji)術(shu)批量生(sheng)產微(wei)型傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)(de)企業。

為了充(chong)分(fen)發揮山東博(bo)華電(dian)子科(ke)技發展(zhan)有限公(gong)(gong)(gong)司的作用，聚集MEMS領(ling)域的研(yan)發機構和(he)生產企(qi)業，管委會投資打造(zao)淄博(bo)高新區MEMS產業園(yuan)(yuan)(yuan)。MEMS產業園(yuan)(yuan)(yuan)位于中潤大道(dao)和(he)聯通路之間，淄東鐵路以東，工業路以西(xi)；該項(xiang)目用地面積9.93公(gong)(gong)(gong)頃，總(zong)建筑(zhu)面積151306㎡，項(xiang)目總(zong)投資54720萬元。園(yuan)(yuan)(yuan)區重點引(yin)進國內外(wai)MEMS創業團(tuan)隊、產品公(gong)(gong)(gong)司、封(feng)裝測(ce)試(shi)公(gong)(gong)(gong)司，致力打造(zao)涵(han)蓋微(wei)機電(dian)系統器件設計、中試(shi)代工、封(feng)裝測(ce)試(shi)、規模(mo)量產的全產業鏈(lian)一流產業園(yuan)(yuan)(yuan)區。