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山(shan)東博華(hua)電子科技發(fa)展有限公司(si)(si)成立(li)于2017年，位于淄博高新區(qu)MEMS產業創(chuang)新園內，是由淄博高新區(qu)管委會、MEMS研究院(yuan)共同成立(li)的(de)(de)全(quan)資子公司(si)(si)，公司(si)(si)總投(tou)資約(yue)1.6億元，其中(zhong)已投(tou)入(ru)工(gong)藝設(she)備(bei)(bei)約(yue)1億元，廠(chang)房基礎建設(she)、土地(di)約(yue)6000萬元。廠(chang)房面(mian)積(ji)5000m2，分環境動力區(qu)、辦公區(qu)、潔凈區(qu)。潔凈面(mian)積(ji)1540m2，百級區(qu)340m2、千級區(qu)400m2，萬級區(qu)800m2，超凈規模國內一流，省(sheng)內。擁(yong)有德國SUSS公司(si)(si)光刻(ke)機、奧德利EVG公司(si)(si)鍵合機、英國SPTS公司(si)(si)深硅刻(ke)蝕機等(deng)國際一流6英寸半自動MEMS及(ji)微(wei)納(na)米代工(gong)線(xian)設(she)備(bei)(bei)，生產能力達到(dao)月(yue)產傳感器十萬只以上，產品的(de)(de)測試環境也(ye)居國內水平。

淄博高(gao)(gao)新技(ji)(ji)(ji)術產(chan)業(ye)開(kai)發(fa)區MEMS研(yan)究(jiu)院是由(you)淄博高(gao)(gao)新區管委會與清(qing)華大學機械工程學院合作共建。公(gong)司(si)于(yu)2017年12月(yue)成立，以“精密測試技(ji)(ji)(ji)術及儀器國家重點(dian)實(shi)驗(yan)(yan)室MEMS分實(shi)驗(yan)(yan)室”、 “清(qing)華大學微米納米技(ji)(ji)(ji)術研(yan)究(jiu)中心(xin)MEMS分中心(xin)”和(he)“智能微系統(tong)教育部重點(dian)實(shi)驗(yan)(yan)室MEMS分實(shi)驗(yan)(yan)室”為技(ji)(ji)(ji)術依(yi)托，集中了國內專(zhuan)(zhuan)業(ye)從(cong)(cong)事MEMS工藝和(he)傳(chuan)感器設計的(de)(de)專(zhuan)(zhuan)家人(ren)才，專(zhuan)(zhuan)門從(cong)(cong)事微型傳(chuan)感器的(de)(de)研(yan)發(fa)和(he)生產(chan)，是山東省一家采(cai)用MEMS技(ji)(ji)(ji)術批量生產(chan)微型傳(chuan)感器的(de)(de)企業(ye)。

為了(le)充分發揮山東(dong)博華電子科技(ji)發展有限公(gong)(gong)司(si)(si)的作(zuo)用，聚集MEMS領域的研發機構和(he)生產(chan)企(qi)業(ye)(ye)，管委會投資打造淄博高新區MEMS產(chan)業(ye)(ye)園。MEMS產(chan)業(ye)(ye)園位于中潤大道和(he)聯通(tong)路(lu)之間，淄東(dong)鐵路(lu)以東(dong)，工(gong)業(ye)(ye)路(lu)以西(xi)；該項目用地面(mian)積9.93公(gong)(gong)頃，總(zong)建筑面(mian)積151306㎡，項目總(zong)投資54720萬(wan)元。園區重點引進國內外MEMS創業(ye)(ye)團隊、產(chan)品(pin)公(gong)(gong)司(si)(si)、封裝測試(shi)公(gong)(gong)司(si)(si)，致力打造涵蓋微機電系統器件(jian)設計(ji)、中試(shi)代工(gong)、封裝測試(shi)、規模量產(chan)的全產(chan)業(ye)(ye)鏈一流(liu)產(chan)業(ye)(ye)園區。